- 最小化杂质和包裹物
- 优化的工艺产量和性能
- 总体拥有成本降低
Heraeus Neonyx® - 合成石英新标准
石英材料重定义：一个新的材料平台
Neonyx®的优点
- 适用所有的半导体工艺
- 热管理合成石英方案
- 完全受控制的原材料供应
- 产量高
Neonyx®合成熔融石英产品
Neonyx HSQ-T
Neonxy HSQ-T专为您的批量炉应用而研发。 Neonyx HSQ-T可为您提供贺利氏HSQ级别产品的所有优点及合成石英的先进特性，且其产品结构一样。Neonyx HSQ-T可供大管、小管、棒、锭、板等多种形式，使您能够用Neonyx HSQ-T这个等级材料制作一整套批量炉用石英器件！
Neonyx TSC-T
新一代单片炉应用的材料等级：Neonyx TSC-T。其拥有并超越了成熟的TSC-3/4材料的优越性能。 Neonyx TSC-T独有的极低气泡和夹杂物以应对您的高端单片炉应用的挑战。
应用领域
沉积和蚀刻工艺是半导体制造链中最关键的工艺之一。正在进行的向第三维度的整合提出了新的、越来越具有挑战性的要求。Neonyx是应对这些挑战的正确材料。请阅读更多关于以下具体工艺的信息。
