Heraeus Neonyx® - 合成石英新标准

石英材料重定义:一个新的材料平台

表中的内容

Neonyx®的优点

  • 最小化杂质和包裹物
  • 优化的工艺产量和性能
  • 总体拥有成本降低

  • 适用所有的半导体工艺
  • 热管理合成石英方案

  • 完全受控制的原材料供应
  • 产量高

Neonyx®合成熔融石英产品

Neonyx HSQ-T

Neonyx HSQ-T

Neonxy HSQ-T专为您的批量炉应用而研发。 Neonyx HSQ-T可为您提供贺利氏HSQ级别产品的所有优点及合成石英的先进特性,且其产品结构一样。Neonyx HSQ-T可供大管、小管、棒、锭、板等多种形式,使您能够用Neonyx HSQ-T这个等级材料制作一整套批量炉用石英器件!

手册:Neonyx® HSQ-T

Neonyx TSC-T

新一代单片炉应用的材料等级:Neonyx TSC-T。其拥有并超越了成熟的TSC-3/4材料的优越性能。 Neonyx TSC-T独有的极低气泡和夹杂物以应对您的高端单片炉应用的挑战。

手册:Neonyx® HSQ-T

Neonyx OM

Neonyx OM

首个合成级白色不透明材料,拥有全方位热管理的能力,以及应对材料的纯度和材料的一致性要求越来越高的能力。

手册:: Neonyx® OM

应用领域

沉积和蚀刻工艺是半导体制造链中最关键的工艺之一。正在进行的向第三维度的整合提出了新的、越来越具有挑战性的要求。Neonyx是应对这些挑战的正确材料。请阅读更多关于以下具体工艺的信息。

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