紫外应用的光学材料

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重点是180 - 400纳米的波长。

  • 远紫外:< 190 nm
  • 深紫外:190 – 280 nm
  • 紫外:280 – 400 nm

对于该波长范围,非常重要的光学性能为高透射性和优异的纯度、无荧光、出众的紫外或其它高能量辐射破坏耐受性。紫外波段的典型应用包括:微光刻、光谱分析仪、激光核聚变项目、或者通过准分子激光或紫外灯照射的其它应用。

熔融石英_3D材料
角反射器。挑战:在相同方向上的背反射。

棱镜、透镜和分束器通常是非常关键的光学元件。这些元件的质量对整个光学系统的性能有重要的影响。在这类光学元件中,不同光线在材料中的光路长度可能不同。特别是对于较大的光学元件,这些光线可能会体现局部变化的折射率。因此,为了获得优异的光学性能,在任何传播方向上都不存在光畸变是非常重要的。在这种情况下,尤其需要具有均匀折射率分布的各向同性光学材料。贺利氏科纳米具有独特的工艺,以提供具有卓越光学性能的真正3D材料。

关于3D材料的更多信息

推荐材料:
由于其良好的3D均匀性(以+、++、+++表示),我们推荐以下材料。为了有助于您选择,我们提供了附加信息,欢迎随时联系我们。

  • Suprasil 311 (3D:+++)
  • Suprasil 3301 (优秀的真空紫外透射性,3D:+++)
  • Suprasil 1 (良好的辐射硬度,低荧光,3D:++)
  • Suprasil 1 ArF/KrF (优秀的辐射硬度,低荧光,3D:++)

熔融石英晶棒
熔融石英制成的典型窗口

像窗口、滤光片、偏光片或光导这样的光学组件需要光以非常小的畸变穿过功能向。熔融石英光学器件(大多数为平面–平面型)具有优异的均匀性,并且可以被用于广泛的应用领域—其不仅可作为恶劣环境中的透射窗口,也可作为光学滤光片及偏振器的基材。


推荐材料
由于其在功能向上良好的3D均匀性(以+、++,、+++表示),我们推荐以下材料。为了有助于您选择,我们提供了附加信息,请随时联系我们的专家。

  • Suprasil® 312 (基础材料,均匀性:+++)
  • Suprasil® 3302 (更高真空紫外透射性,均匀性:+++)
  • Suprasil® 2A (良好的辐射硬度和低荧光性,均匀性:++)
  • Suprasil® 2 ArF/KrF (非常高的辐射硬度和低荧光性,均匀性:++)
  • Suprasil® 2B (良好的辐射硬度和低荧光性,均匀性:+)
  • Spectrosil 2000 (低荧光性,均匀性:+)
  • Suprasil® UVL (非常高的辐射硬度和低荧光性,均匀性:+)

反射镜、晶圆、窗口片和基底均依赖于表面或极薄材料层,对于这些应用而言,光学均匀性不是主要关注点。光学参数(像卓越的传输性)、极好的热膨胀系数和其它机械、热学和化学性能可能更为重要的。

推荐材料:

  • Spectrosil 2000 (良好的辐射硬度)
  • Suprasil® 313 (良好的均匀性、低OH含量) 数据资料表

熔融石英透镜和毛坯
客户定制化光学元件

从十多年前的标准光学元件发展至今,光学元件的组成变得越来越复杂。由于工业和科学应用的复杂性,指标要严格得多,尺寸也可能变得非常不同寻常,也许会高达1.5米。贺利氏科纳米参与了许多需要客户定制光学组件的项目。我们长期的研发专业知识使我们能够支持您的每一个不同寻常的,特殊的光学要求。

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