用于半导体应用的熔融石英和合成石英产品

熔融石英和合成石英是半导体行业众多制程工艺中的一种关键材料,了解更多关于如何为您的半导体应用寻求合适的熔融石英和合成石英材料信息

贺利氏科纳米生产用于半导体应用的熔融石英和合成石英产品,有各种材料等级和尺寸规格。所提供的产品具有高纯度和高材料均匀性的特点,同时保持低气泡含量和严格的尺寸公差。

内容表

用于半导体应用的产品组合

根据所涉及的制造等级,贺利氏科纳米的产品组合可分为两个主要的专业领域。

石英基础材料是指由熔融石英和合成石英制成的基本产品几何形状,如锭、棒、管、板等。在这一领域,贺利氏科纳米提供标准化的产品,这些产品在某些几何尺寸(如外径、壁厚或长度)上已经可以与最终应用相匹配。

在石英制品领域,贺利氏科纳米公司提供根据图纸进一步加工成最终应用的熔融石英和合成石英产品。这使客户能够从一个专业的供应商的手中获得最终几何形状的石英制品。石英制品可根据最终半导体应用的生产类型加以区分。

Quartzware for Single Wafer Applications

适用于单片式应用的石英制品

贺利氏可以为所有典型的单片式应用提供石英制品,如环形、窗口、钟罩衬底等,用于所有相关的半导体工艺。我们的解决方案可用于处理从6英寸到12英寸的晶圆。

为确保最终石英制品的最佳性能,选择适当的基础材料、表面形态和清洁度是相当重要的。贺利氏科纳米可通过我们的全球制造网络提供设计支持,将您与该领域的专家联系起来。

Quartzware for Batch Furnace

适用于批量炉应用的石英制品

关于批量炉的应用,贺利氏科纳米可以为所有典型的批量炉应用提供石英制品,如CVD、外延沉积和其他高温工艺。批量系统的产品实例包括工艺管、衬垫、基座、气体喷射器和许多更复杂的部件。解决方案可用于处理从4英寸到12英寸的晶圆。

贺利氏还可以提供可直接安装的石英制品(CFI),使我们的客户在交货后可以直接使用我们的产品,而无需进一步处理。

为确保最终石英制品的最佳性能,贺利氏科纳米可通过我们的全球制造网络提供设计支持,将您与该领域的专家联系起来。

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半导体应用的材料等级

所提供的熔融石英和合成石英的材料等级可按用于制造最终产品的基本熔融生产技术进行分类。在下文中,你可以看到贺利氏科纳米所能提供的不同材料等级的概述,其中突出了该应用部分的关键特征。

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