用于半导体制程的熔融石英和合成石英锭

Quartz ingot

半导体制程需要熔融石英和合成石英锭来制造批量和单晶硅加工设备。

贺利氏科纳米生产各种材料等级和尺寸的熔融石英和合成石英锭。所提供的石英锭具有高纯度和高材料均匀性的特点,同时保持低气泡含量。

在下文中,您将看到贺利氏科纳米关于各种熔融技术的概述,每种技术都对应了贺利氏在该领域先进的材料解决方案

天然熔融石英

  • 电熔石英锭
    HSQ®电熔石英锭是通过多个热成型步骤制造的。这种加工方式使材料具有更高的均匀性和低羟基含量,从而在最终应用中具有高热稳定。
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  • 气炼熔融石英锭
    贺利氏科纳米采用连续熔融技术来生产TSC®气炼熔融石英锭。这种独特的工艺使客户能够利用气泡和夹杂物含量非常低的材料,同时在最终应用中提供严格的尺寸、外观和纯度要求。
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合成熔融石英

合成熔融石英锭

为了满足半导体行业最苛刻的工艺需求,贺利氏科纳米公司生产HSQ®900和Spectrosil材料质量的合成熔融石英锭。所有贺利氏合成材料提供ppb级的材料纯度和零气泡含量的特点。

不透明石英

  • 白色不透明石英锭
    贺利氏不透明石英材料OM®100是一种白色不透明的高纯度石英玻璃。其独特的制造技术生成了独特的微孔,与其他不透明材料相比,可提供更高的热反射效率。
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  • 黑色不透明石英锭
    贺利氏黑石英HBQ®100是一种黑色不透明的高纯度石英玻璃复合材料。除了我们的白色不透明材料(OM®100)和透明熔融石英/合成石英解决方案(HSQ®)之外,HBQ®100还为需要吸热的应用场景提供了独特的解决方案。
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熔融石英 和合成石英锭可满足批量和单片加工设备制造过程中对纯度和外观的严格要求。

贺利氏科纳米产品组合涵盖多个等级,可满足OEM的所有要求,包括具有挑战性的超高纯度规格。