用于半导体制程的熔融石英和合成石英棒

Quartz rod

半导体制程需要熔融石英和合成石英棒来制造批量加工设备。

贺利氏科纳米提供各种材料等级和尺寸的熔融石英和合成石英棒。熔融石英和合成石英棒的特点是低气泡含量、高纯度和严格的几何公差。

在下文中,您将看到贺利氏科纳米各种熔融技术的概述,每种技术都对应了贺利氏在该领域先进的材料解决方案。

天然熔融石英

电熔石英棒
HSQ®100直拉石英棒在电熔工艺中拉制,为许多工业应用提供了具有成本效益的解决方案。
对于要求更高的先进半导体制程,贺利氏科纳米可以根据客户应用的纯度要求,提供HSQ®300、HSQ®330和HSQ®330S等纯度规格的直拉和二次拉制电熔石英棒。
这使得材料具有更高的均匀性和低羟基含量,确保材料在使用过程中具有高热稳定性。

关于HSQ®的更多信息

合成熔融石英

合成熔融石英棒

贺利氏科纳米为先进的半导体制程生产合成熔融石英棒。HSQ®900和Spectrosil提供ppb级的材料纯度和零气泡含量的特点

熔融石英棒可用于满足批量炉部件制造中严格的尺寸和视觉要求,以制造船体、晶圆载体和基座。

贺利氏科纳米产品组合涵盖多种牌号,以满足OEM的所有要求,包括具有挑战性的超高纯度规格。