紫外应用的光学材料

紫外应用的光学材料
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应用的波长范围为
180 – 400 nm:

  • 远紫外:< 190 nm
  • 深紫外:190 – 280 nm
  • 紫外:280 – 400 nm

对于该波长范围,最重要的光学性能为高透射性和优异的纯度、无荧光、出众的紫外或其它高能量辐射破坏耐受性。紫外波段的典型应用包括:微光刻、光谱分析仪、激光核聚变项目、或者通过准分子激光或紫外灯照射的其它应用。

熔融石英_3D材料
角反射器。挑战:在相同方向上的背反射。

棱镜、透镜和分束器通常是最关键的光学元件。因为这些元件通过改变光路影响成像性能,所以它们的品质会对整个光学系统的性能造成巨大影响。在这些光学元件中光路不只是在一个方向,因此在任何传播方向不发生光学畸变非常重要。这让具有均匀折射率分布的各向同性光学材料变得不可或缺。贺利氏石英公司以其独特的工艺提供具有卓越光学性能的真正3D材料。

关于3D材料的更多信息

推荐材料:
由于其良好的3D均匀性(以+、++、+++表示),我们推荐以下材料。为了有助于您选择,我们提供了附加信息,欢迎随时联系我们。

  • Suprasil 311 (3D:+++)
  • Suprasil 3301 (最好的真空紫外透射性,3D:+++)
  • Suprasil 1 (良好的辐射硬度,低荧光,3D:++)
  • Suprasil 1 ArF/KrF (最高的辐射硬度,最低荧光,3D:++)
熔融石英晶棒
熔融石英制成的典型窗口

像窗口、滤光片、偏光片或光导这样的光学组件需要光以最小畸变穿过功能向。熔融石英光学器件(大多数为平面–平面型)具有优异的均匀性,并且可以被用于广泛的应用领域—其不仅可作为恶劣环境中的透射窗口,也可作为光学滤光片及偏振器的基材。


推荐材料
由于其在功能向上良好的3D均匀性(以+、++,、+++表示),我们推荐以下材料。为了有助于您选择,我们提供了附加信息,请随时联系我们的专家。

  • Suprasil® 312 (基础材料,均匀性:+++)
  • Suprasil® 3302 (更高真空紫外透射性,均匀性:+++)
  • Suprasil® 2A (良好的辐射硬度和低荧光性,均匀性:++)
  • Suprasil® 2 ArF/KrF (最高的辐射硬度和最低荧光性,均匀性:++)
  • Suprasil® 2B (良好的辐射硬度和低荧光性,均匀性:+)
  • Spectrosil® 2000 (低荧光性,均匀性:+)
  • Suprasil® UVL (最高的辐射硬度和最低荧光性,均匀性:+)

反射镜、晶圆、窗口片和基底均依赖于表面或极薄材料层,对于这些应用而言,光学均匀性不是主要关注点。光学参数(像卓越的传输性)、极好的热膨胀系数和其它机械、热学和化学性能可能更为重要的。

推荐材料:

  • Spectrosil® 2000 (良好的辐射硬度)
  • Suprasil® 313 (良好的均匀性、低OH含量) 数据资料表
  • Suprasil® CG
熔融石英透镜和毛坯
客户定制化光学元件

当今的光学元件显然不再是标准的光学器件了,在工业及科学应用复杂性的推动下其规格要严格得多,维度上极具想象力而尺寸可高达1.5m。贺利氏石英公司涉及众多项目,其中就有客户要求定制光学元件的项目,我们长期研发的专业技术可使我们能够支持您的每种不寻常的特种光学器件需求。

请直接与我们联系以探讨您的问题并找到解决方案。

HOD® fused silica diffusor

不透明石英玻璃可以被用于如下一些光学器件:

一个趋于理想的散射器在透射和反射方向上有多重应用。
贺利氏HOD 材料可以提供较宽的散射角分布,易于清洁,易于加工,不易透过,并且可以进行附加处理达到散射紫外线的目的。

更多HOD信息

另一个利用不透过率的器件是吸收体。贺利氏开发出了一种工艺,可以 进行参杂达到宽波段吸收的作用。这个产品是黑色的,并且被广泛用于光谱应用中。如果切割得比较薄,可以在高强度辐射中用于很强的衰减器。

欢迎您与我们进行联系,并期待与您进行更深入的交流!

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