石英玻璃板和圆片是半导体行业中用于加工适用于 分批式烧制炉 的石英舟、保温桶、石英晶片和晶圆载具的必需材料。
对于单片式工艺,板材被用于窗口、气体分流板、喷气板、晶圆载具和承受器。在湿法清洗制程中,此材料被用于清洗槽。
大型板材也用于平板显示器(FPD)制造 。
贺利氏提供各种材料等级以满足半导体工业对外观质量、尺寸、形状和纯度的要求。
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