贺利氏可为几乎所有常见应用中的石英制品提供维修和翻新服务,如CVD、外延及其他高温处理工艺等。
贺利氏的解决方案适用于处理4英寸至18英寸的晶片。
贺利氏可为几乎所有常见应用中的石英制品提供维修和翻新服务,如CVD、外延及其他高温处理工艺等。
贺利氏的解决方案适用于处理4英寸至18英寸的晶片。
翻新用于CVD工艺的石英制品
用于CVD工艺的石英管管体常常会在维护过程中被严重损坏。安装新的管体和顶片可令损坏的石英管恢复到几乎全新的状态。并可对法兰密封面进行维修以改善密封性。这一针对石英管和法兰的再利用方案可极大地帮助降低成本和缩短交货时间。
维修
和购买新品相比,对崩碴、豁口、破损的保温桶片和微裂纹进行维修可以大大降低客户的成本。请咨询我们的销售专家,以确定是否可对特定的石英制品进行维修。如果可以的话,请将相关产品送至任何一处贺利氏的维修中心,我们会将其修复一新。
高温氧化舟可能会在长期使用中逐渐变形。我们可以对石英棒进行整形并将舟修复至正常状态。
适用于 分批式扩散炉 的产品包括:工艺管、內管,舟,保温桶,喷嘴,钟罩及其他各种复杂部件。